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進水電導率<400μs/cm的含EDI設(shè)備的典型超純水工藝流程設(shè)計方案
1 純化水工藝設(shè)計方案：（產(chǎn)水水質(zhì)標準達到的標準：中國藥典2005版純化水標準）
自來水→預(yù)處理→一級反滲透→一級EDI→UV殺菌→超濾除熱原設(shè)備→用水
自來水→預(yù)處理→一級反滲透→二級EDI→UV殺菌→超濾除熱原設(shè)備→用水
2 注射用水工藝設(shè)計方案：（產(chǎn)水水質(zhì)標準達到的標準：中國藥典2005版注射用水標準）
自來水→預(yù)處理→一級反滲透→一級EDI→微濾→多效蒸餾除熱原設(shè)備→用水
自來水→預(yù)處理→一級反滲透→二級EDI→微濾→超濾除熱源設(shè)備→用水
3 電廠高壓鍋爐給水工藝設(shè)計方案（產(chǎn)水水質(zhì)標準達到的標準：工業(yè)鍋爐水質(zhì)GB1576-2001）
自來水→預(yù)處理→一級反滲透→脫氣裝置→二級EDI→微濾→用水
自來水→預(yù)處理→一級反滲透→脫氣裝置→PH調(diào)節(jié)→二級反滲透→一級EDI→微濾→用水
4 微電子/半導體級超純水工藝設(shè)計方案（產(chǎn)水水質(zhì)標準達到的標準：中國電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標準）
自來水→預(yù)處理→一級反滲透→脫氣裝置→二級EDI→UV殺菌裝置→超濾→用水
自來水→預(yù)處理→一級反滲透→脫氣裝置→PH調(diào)節(jié)→二級反滲透→一級EDI→拋光混床→UV殺菌裝置→超濾→用水
5 實驗室用分析級純水工藝設(shè)計方案（產(chǎn)水水質(zhì)標準達到的標準：分析級實驗室用水標準GB6682-2000）
自來水→預(yù)處理→一級反滲透→二級EDI→UV殺菌裝置→超濾→用水
自來水→預(yù)處理→二級反滲透→一級EDI→UV殺菌裝置→超濾→用水